【摘 要】
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体声波（BAW）谐振器受到质量负载时,谐振器的Butterworth Van Dyke（BVD）电路模型中会增加1个质量负载等效电感,为得到该电感与负载质量的量化关系,以便对BAW传感器进行系统行为仿
【机 构】
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西南科技大学信息工程学院,中国工程物理研究院电子工程研究所
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体声波（BAW）谐振器受到质量负载时,谐振器的Butterworth Van Dyke（BVD）电路模型中会增加1个质量负载等效电感,为得到该电感与负载质量的量化关系,以便对BAW传感器进行系统行为仿真,该文提出了3D多物理场-等效电路仿真对比建模的方法。通过对比COMSOL Multiphysics软件的3D多物理场仿真结果与ADS的等效电路仿真结果得到质量负载等效电感和负载质量的量化关系。以一个薄膜体声波谐振器（FBAR）为例,介绍了该方法的详细过程,并得到案例中的量化关系为：质量负载等效电感每增加1
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