SEZ携于AIR LIQUIDE合作开发适用于高级金属栅极材料的蚀刻解决方案

来源 :电子与电脑 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liongliong546

【摘要】

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服务于半导体行业的单晶圆清洗解决方案SEZ（瑟思）集团和工业和医疗气体及相关服务的供应商Air Liquide（液化空气公司）联合宣布，双方将通力合作．携手解决生产线前段（FEOL）的先进金属栅

【出处】

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电子与电脑

【发表日期】

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2005年8期

【关键词】

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金属栅极解决方案合作开发蚀刻高级 AIR 材料适用半导体行业

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服务于半导体行业的单晶圆清洗解决方案SEZ（瑟思）集团和工业和医疗气体及相关服务的供应商Air Liquide（液化空气公司）联合宣布，双方将通力合作．携手解决生产线前段（FEOL）的先进金属栅极蚀刻所面临的化学制剂的挑战．45纳米技术标准下的高k值门极绝缘体和高级金属栅极的电极预计会带来许多的制程挑战．

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