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针对微型磁通门传感器降低功耗的要求,利用标准MEMS工艺制备了具有多孔结构铁芯的微型磁通门传感器。经过对器件的测试与分析,这一结构的铁芯能够降低器件功耗,提高传感器的整体性能。通过比较不同多孔铁芯对磁通门最佳激励电流的影响,综合考虑器件性能和制备工艺的要求,确定了最佳的设计参数。
低功耗微型磁通门的制备与分析
【摘 要】
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针对微型磁通门传感器降低功耗的要求,利用标准MEMS工艺制备了具有多孔结构铁芯的微型磁通门传感器。经过对器件的测试与分析,这一结构的铁芯能够降低器件功耗,提高传感器的
【机 构】
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河南理工大学电气工程与自动化学院,西北工业大学电子信息学院,焦作师范高等专科学校理工学院
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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2016年1期
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