论文部分内容阅读
研究了一种典型结构的梳状音叉MEMS陀螺的非随机性误差特性．综合考虑梳状音叉MEMS陀螺质心偏移、硅的非等弹性等因素，分析该陀螺中的非随机性干扰力矩；从二阶欠阻尼控制系统的角度，讨论了干扰力矩在陀螺内调制、解调环节下对输出的影响；推导出开环灵敏度随温度、比力和角速度的变化关系。在一定近似条件下，得到梳状音叉MEMS陀螺非随机性误差模型的形式 。