【摘 要】
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以钛酸正丁酯、正硅酸乙酯为前驱体,薄膜设计软件辅助下采用溶胶-凝胶法在K9光学玻璃上制备了/4–/2–/2膜系宽带减反膜。该膜层光学性能良好,500-900nm波长范围平均透过率为
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以钛酸正丁酯、正硅酸乙酯为前驱体,薄膜设计软件辅助下采用溶胶-凝胶法在K9光学玻璃上制备了/4–/2–/2膜系宽带减反膜。该膜层光学性能良好,500-900nm波长范围平均透过率为99.25%,透过率增益随入射角增加而增多,斜入射光的入射角0°增至60°仍能有效覆盖钕玻璃的主吸收峰,此时平均透过率增益从7.2%增至10.2%。经150℃热处理,膜层具有一定的耐擦拭性能,表面均匀性良好,均方根粗糙度为4.00nm。
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