【摘 要】
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针对常规激光显微共聚焦拉曼光谱仪无法满足物质变温，特别是低温测试需求的问题，设计了适用于拉曼光谱仪的高精度变温系统。该系统采用GM制冷机作为制冷源，利用高纯无氧铜作为导冷介质，通过将GM制冷机的冷量传导至样品台，并利用控温仪进行温度控制，可以实现待测样品10 K-402 K范围的温度变化控制，控温精度高于0.008 K。相比于常规的低温测试设备，该系统无需采用液氮、液氦进行制冷，大幅降低了设备的使
【基金项目】
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中国科学院电工研究所科研基金（2021000038）； 北京市自然科学基金（4202080）资助；
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针对常规激光显微共聚焦拉曼光谱仪无法满足物质变温，特别是低温测试需求的问题，设计了适用于拉曼光谱仪的高精度变温系统。该系统采用GM制冷机作为制冷源，利用高纯无氧铜作为导冷介质，通过将GM制冷机的冷量传导至样品台，并利用控温仪进行温度控制，可以实现待测样品10 K-402 K范围的温度变化控制，控温精度高于0.008 K。相比于常规的低温测试设备，该系统无需采用液氮、液氦进行制冷，大幅降低了设备的使用及维护费用。同时，使用激光显微共聚焦拉曼光谱仪搭载该系统，成功获得了Si、V2O5等材料的变温拉曼光谱，验证了激光显微共聚焦拉曼光谱仪变温系统设计的可靠性。
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