多孔硅的形成及其在表面微机械技术中的应用

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zane35

【摘要】

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介绍了多孔硅的基本特性及其形成的选择性，最后介绍了多孔硅在表面微机械技术中的应用。 The basic characteristics and selectivity of porous silicon are introduced. Fi

【作者】

：

王新君赖宗声王云珍

【机构】

：

华东师范大学电子科学技术系

【出处】

：

半导体技术

【发表日期】

：

1996年06期

【关键词】

：

多孔硅微机械技术阳极氧化硅衬底重掺杂孔径尺寸量子限制效应外延层阳极电流微机械加工技术

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介绍了多孔硅的基本特性及其形成的选择性，最后介绍了多孔硅在表面微机械技术中的应用。 The basic characteristics and selectivity of porous silicon are introduced. Finally, the application of porous silicon in surface micromechanics is introduced.

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