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介绍了驻极体微电机、静电感应微电机、电晕微电机、磁阻微电机、永磁微电机、超声波微电机、分子马达和纳米马达等几种微电机的结构、原理、技术指标和国内外发展应用概况。
MEMS微电机综述
【摘 要】
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介绍了驻极体微电机、静电感应微电机、电晕微电机、磁阻微电机、永磁微电机、超声波微电机、分子马达和纳米马达等几种微电机的结构、原理、技术指标和国内外发展应用概况。
【机 构】
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上海交通大学微纳米科学技术研究院
【出 处】
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微电机
【发表日期】
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2009年8期
【基金项目】
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武器设备预研基金项目（9140A09020706JW0314）国家自然科学基金项目（60402003）
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