【摘 要】
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介绍了改良西门子法的多晶硅还原生产工艺和硅晶生产过程中的废料的来源,阐述了近年来的多晶硅生产过程中废料的处理技术的研究现状,指出当前的回收处理方法多为酸碱法存在的
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介绍了改良西门子法的多晶硅还原生产工艺和硅晶生产过程中的废料的来源,阐述了近年来的多晶硅生产过程中废料的处理技术的研究现状,指出当前的回收处理方法多为酸碱法存在的缺点,安全、环保、经济、节能的回收处理方法应成为当前多晶硅还原生产过程废料处理研究关注的重点。
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