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为研究微谐振器在MEMS引信中的振动现象,建立系统固有频率和振型的方程。通过有限元仿真软件ANSYS对微谐振器进行模态仿真分析,包括基于分块Lanczos法的模态分析、软件仿真、结构尺寸对固有频率影响等,得到微谐振器的谐振频率和等效质量等重要参数,以及不同的结构尺寸其的影响。
基于ANSYS的微谐振器模态分析
【摘 要】
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为研究微谐振器在MEMS引信中的振动现象,建立系统固有频率和振型的方程。通过有限元仿真软件ANSYS对微谐振器进行模态仿真分析,包括基于分块Lanczos法的模态分析、软件仿真、
【机 构】
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西安工业大学光电工程学院,西安机电信息研究所
【出 处】
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兵工自动化
【发表日期】
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2008年11期
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