【摘 要】
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石英微机电陀螺是一种哥氏(Coriolis)振动陀螺,其敏感芯片采用音叉式结构,工作时音叉处于谐振状态.敏感芯片具有多阶模态,前9阶模态覆盖频率为3～21 kHz.敏感芯片的部分模态易
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二十六研究所,重庆,400060;空装驻重庆地区军事代表室,重庆,400060
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石英微机电陀螺是一种哥氏(Coriolis)振动陀螺,其敏感芯片采用音叉式结构,工作时音叉处于谐振状态.敏感芯片具有多阶模态,前9阶模态覆盖频率为3～21 kHz.敏感芯片的部分模态易受外部振动影响而导致敏感芯片产生共振,使陀螺产生零位偏移误差,陀螺的零位偏移误差可达0.5(°)/s.该文分析了敏感芯片模态共振误差机理,提出通过结构错频设计避免外部环境特定频率对敏感芯片的影响,从而抑制了零位偏移误差,零位偏移误差减小到约0.03(°)/s,提高了陀螺的振动环境适应性.
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