SiO2薄膜内部短程有序微结构研究

来源 :物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cashwang

【摘要】

：

SiO2薄膜是重要的低折射率材料之一,针对离子束溅射(IBS)和电子束蒸发(EB)的SiO2薄膜,采用红外光谱反演技术获得在400—1500 cm 1波数内的介电常数,通过对介电能损函数的分析

【作者】

：

刘华松季一勤姜玉刚王利栓冷健孙鹏庄克

【机构】

：

天津津航技术物理研究所,天津市薄膜光学重点实验室;

【出处】

：

物理学报

【发表日期】

：

2013年18期

【关键词】

：

SiO2薄膜离子束溅射电子束蒸发短程有序

【基金项目】

：

国家自然科学基金重点项目(批准号:61235011);国家重大科学仪器专项子项目(批准号:2012YQ04016405);天津市自然科学基金(批准号:13JCYBJC17300);天津市青年自然科学基金(批准号:12JCQNIC01200)资助的课题~~

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

SiO2薄膜是重要的低折射率材料之一,针对离子束溅射(IBS)和电子束蒸发(EB)的SiO2薄膜,采用红外光谱反演技术获得在400—1500 cm 1波数内的介电常数,通过对介电能损函数的分析获得了两种薄膜在横向和纵向光学振动模式下的振动频率和Si—O—Si键角.研究结果表明,在EB SiO2薄膜短程有序范围内,SiO4的连接方式主要是类柯石英结构、3-平面折叠环和热液石英结构的SiO4连接方式;在IBS SiO2薄膜短程有序范围内,SiO4的连接方式复杂主要是类柯石英结构、3-平面折叠环、4-平面折叠环结构和类热液石英结构.

其他文献

大型发电机转子风扇叶断裂分析

介绍了大型发电机转子风扇叶的常规结构,论述了导致风扇叶断裂的原因,并通过案例对大型发电机转子风扇叶断裂事故进行检查和原因分析。

期刊

发电机转子风扇叶片事故

互联网金融企业会计核算存在的问题和措施探究

网络技术的快速发展促使互联网金融也得到了快速的发展,互联网金融时代的到来对各个行业的发展产生了深刻的影响,其中包含对会计核算产生的影响.为此,文章在阐述互联网金融背

期刊

互联网金融企业会计核算问题措施

基于荧光共振能量转移机制的氰离子探针的设计、合成及性能研究

阴离子广泛的存在人体和自然环境中,在许多的化学和生物过程中扮演重要作用。近年来,设计和发展人工合成的阴离子荧光探针逐渐成为超分子化学的研究热点之一。本文基于FRET机

学位

萘酰亚胺香豆素阴离子识别氰根FRET氢键

让“身体”回到教学

新一轮基础教育课程改革改变过于强调"接受学习、死记硬背、机械训练"的现状,其实质是"让人回到教学"的教学哲学的变革。人回到教学的根本就是让"身体"回到教学。本文在追索

期刊

身体知觉现象学教学哲学教学

探因《莺莺传》与《李娃传》爱情结局的不同——以崔莺莺、李娃两位女性为例

本文拟通过比较崔莺莺、李娃两位女性不同的性格、对待爱情不同的态度以及对男人仕途不同的作用等方面来探因《莺莺传》与《李娃传》爱情结局的不同。

期刊

崔莺莺李娃爱情结局不同

探究旅游信息系统设计中GIS的应用

我国旅游业的快速发展是促进整个国民经济发展的重要动力之一,目前基于GIS信息系统的设计更好的促进了旅游业的进一步发展和前进,本文基于多年的地理信息系统开发应用探究的

期刊

旅游信息系统GIS

仿生射流孔形状减阻性能数值模拟及实验研究

针对横流中的侧向射流能够减小仿生射流表面摩擦阻力问题,建立仿生射流表面模型,利用SST k-ω湍模型对不同射流孔形状的仿生射流表面模型进行数值模拟,并对数值模拟结果进行

期刊

减阻射流孔形状数值模拟边界层

金融发展在中心城市经济增长中的作用

本文探讨了金融发展与中心城市经济增长的内在关系。研究的结论是 ,金融发展可以通过提供充足的资本积累、推动社会需求、促进技术创新、优化产业布局、缩小城乡经济差异等几

期刊

金融发展中心城市经济增长

论自我效能感的主体作用机制

本文首先概述了自我效能理论的背景，然后全面评述自我效能感的主体作用机制，并指出：自我效能理论是班杜拉社会学习理论体系的重要组成部分，也是其一般学习论观点的逻辑产物；其中具

期刊

社会学习理论自我效能感主体作用机制

论评价与课程标准一致性的建构:美国的经验

美国是研究评价与课程标准一致性问题的先行者,其所构建的一致性标准,对世界课程评价改革的影响意义是深远的,其经验非常值得我们借鉴。

期刊

评价课程标准一致性标准

SiO2薄膜内部短程有序微结构研究

与本文相关的学术论文