论文部分内容阅读
在电子散射能量沉积为双高斯分布的前提下，提出了一种提取电子束光刻中电子散射参数α，β和η的新方法．该方法使用单线条作为测试图形．为了避免测定光刻胶的显影阈值，在实验数据处理中使用归一化方法．此外，用此方法提取的电子散射参数被成功地用于相同实验条件下的电子束临近效应校正．
一种提取电子束光刻中电子散射参数的新方法
【摘 要】
：
在电子散射能量沉积为双高斯分布的前提下，提出了一种提取电子束光刻中电子散射参数α，β和η的新方法．该方法使用单线条作为测试图形．为了避免测定光刻胶的显影阈值，在实验数据处
【机 构】
：
中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室
【出 处】
：
半导体学报
【发表日期】
：
2005年3期
【基金项目】
：
国家自然科学基金资助项目(批准号:60276019)~~
其他文献
设计了正面入射的探测波长范围限制在326～365nm的AlxGa1-χN／GaN异质结pin光电探测器，利用自洽求解薛定谔-泊松方程计算了A1xGa1-xN／GaN异质结在无极化、完全极化和部分极化的能
中国传统元素蕴含着中国古人的审美意识，是中国本土文化的象征。将传统元素做“新”使之与现代时尚元素相融合并为现代人所接受是提升民族自信心、增强服装意蕴美感和文化附加
介绍了三产品重介质旋流器矸石底流嘴防堵保护装置的构成、工作原理和控制电路的工作过程,强调在选煤厂应用时关键要注意保护装置电极之间的绝缘。
对采用MOCVD(metalorganic chemical vapor phase deposition)技术生长在GaN/Sapphire衬底上的InN薄膜进行了Hall、吸收谱以及低温光致发光(photoluminescence,PL)谱的测量和
利用击穿电压和击穿电量这两个参数评价标准0．18μmCMOS工艺栅氧的可靠性，获得击穿电压和击穿电量的两个常用方法是电压扫描法和电流扫描法．对用这两种方法得到的击穿电压和击穿
论述了华东理工大学与兖矿鲁南化肥厂联合开发的德士古水煤浆气化炉新型耐磨烧嘴的技术经济性,成功使用后的结果表明,雾化效果稳定周期大于普通喷嘴,使用寿命提高2倍,气化炉
介绍了卧式振动离心机的工作原理、技术特点、结构组成;结合保德选煤厂的生产实践,指出了离心机运行中的注意事项、常见故障的原因及处理方法,提出对该设备进行优化改造的建
2018年上半年,全国规模以上煤炭企业原煤产量17亿t,同比增长3.9%;煤炭净进口1.44亿t,同比增长12.6%;初步测算,全国煤炭消费量约18.9亿t,同比增长3.1%,实现了产需基本平衡。从
Based on the multi-class bubble model and the assumption that bubbles rise in plug flow during dynamic gas disengagement, the function between gas holdup and ti
分析了吕梁山煤电公司选煤厂洗选精煤水分偏高的主要原因,通过在技术及管理层面采取一系列措施,有效降低了精煤水分,创造了较大的经济效益。