系统探索全面提高基础教育质量的有效途径——教育部基础教育综合改革实验区工作研讨会综述

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7月9日,教育部基础教育司在湖北省宜昌市召开教育部基础教育综合改革实验区工作研讨会。12个实验区教育局主要负责同志介绍了建设基础教育综合改革实验区的总体构想,分享了基础教育改革的经验做法。实验区所在省(市)教育厅(教委)就实验区建设中的重点领域和关键环节,以及突破重点难点堵点的有效措施进行了深入交流。
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随着CIS技术的发展和广泛应用,小透光率(Transmission rate,TR)的浅沟槽刻蚀得到最为广泛的应用。针对浅沟槽刻蚀,特别是小透光率的浅沟槽隔离刻蚀,研究如何在不同透光率掩模版上精确控制浅沟槽隔离刻蚀的线宽,深度,膜厚,形貌及优化缺陷的方法,主要论述了小透光率浅沟槽刻蚀工艺各关键指标的变化规律,达到稳定电性和良率的目的,该方法对大规模生产起到的巨大帮助与推进作用。