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采用热灯丝化学气相沉积法在硅衬底上沉积出金刚石薄膜,用傅立叶变换红外光谱仪分析独立式金刚石薄膜的红外光谱特性,其结果表明:在6.25μm ̄25μm波段,平均红外透过率为65%。由于生长的多晶金刚石薄膜粗糙表面,中红外波段出现红外散射损失,镀类金刚石薄膜后,红外散射损失可得到一定的程度的改善。