【摘 要】
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在超高真空范围内使用的电离真空计,要求在使用前将电极进行较彻底的除气,因此最好全部电极都设计为可直接通电加热。本文叙述了两种测量范围为10~(-3)~10~(-11)托级的、可用
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在超高真空范围内使用的电离真空计,要求在使用前将电极进行较彻底的除气,因此最好全部电极都设计为可直接通电加热。本文叙述了两种测量范围为10~(-3)~10~(-11)托级的、可用焦耳热除气的电离真空计(热阴极及冷阴极各一种)的设计原则、实际性能及其改进。这两种真空计都曾在实验室使用两年以上,证明具有一定的实用价值,并可作为离子泵及代替一般的高真空计使用。
Ionization gauges used in the ultra-high vacuum range require more thorough degassing of the electrodes prior to use, so it is preferable that all electrodes be designed to be directly energized for heating. This article describes the design principles of two types of ionization gauges (one for hot cathode and one for cold cathode) that can be powered by Joule heat with a measuring range of 10-3 (-10) (-11), and the actual performance And its improvement. Both vacuum gauges have been used in the laboratory more than two years, proved to have some practical value, and can be used as ion pumps and instead of the general high vacuum gauge.
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