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使用金刚石膜热沉的半导体激光器特性研究
使用金刚石膜热沉的半导体激光器特性研究
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liantonglingsheng
【摘 要】
:
比较了使用金刚石膜沉和传统的铜热沉的半导体激光二极管列阵在热阻和光输出功率方面的特性。与使用Cu热沉的器件相比,采用厚度烟350-400μm,热导率在12-14W/(K.cm)的金刚石膜作为热沉的二极管列阵可使
【作 者】
:
顾长志
屠玉珍
【机 构】
:
吉林大学超硬材料国家重点实验室
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1997年11期
【关键词】
:
半导体激光器
金刚石膜
热沉
Arrays
Diamond films
Heat resistance
Optical properties
Semicondu
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比较了使用金刚石膜沉和传统的铜热沉的半导体激光二极管列阵在热阻和光输出功率方面的特性。与使用Cu热沉的器件相比,采用厚度烟350-400μm,热导率在12-14W/(K.cm)的金刚石膜作为热沉的二极管列阵可使热阻低45-50%。
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