带有静电自检测功能的高灵敏度加速度传感器

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lvjieidd

【摘要】

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研究了一种带有自检功能的在平面内自限制压阻式加速度传感器．为实现该加速度传感器，提出了一套新的体硅微机械工艺，使用普通硅片取代SOI硅片来制作器件．传感器采用在深槽侧壁(悬

【作者】

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程保罗李昕欣王跃林焦继伟车录锋杨恒戈肖鸿宋朝晖

【机构】

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中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室,中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点联合实验室

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2005年3期

【关键词】

：

微机电系统加速度传感器自检功能静电驱动侧壁扩散绝缘工艺 MEMSaccelerometerselftest functionelectrostatic

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研究了一种带有自检功能的在平面内自限制压阻式加速度传感器．为实现该加速度传感器，提出了一套新的体硅微机械工艺，使用普通硅片取代SOI硅片来制作器件．传感器采用在深槽侧壁(悬臂梁弯曲的表面)制作压阻的方法，灵敏度比在硅表面上制作压阻的传统器件高近一倍．传感器利用集成在内的静电驱动器，实现电自检测功能．

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