溶胶-凝胶法制备钛酸锶钡薄膜的光电子能谱研究

来源 :第十一届全国电介质物理、材料与应用学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hdiell

【摘要】

：

采用改进的溶胶-凝胶法配制了(Bax,Sr1-x)TiO3(BST)溶胶.利用旋转涂覆工艺在SiO2/Si衬底上甩胶,在不同的热处理条件下制备出不同Ba/Sr比的BST薄膜.SEM测试结果表明BST薄膜断面平整致密,均匀,无裂纹;化学组态和结合能分析表明BST薄膜的价态为钙钛矿结构的价态.

【作者】

：

刘娟妮方瑜肖定全朱建国

【机构】

：

四川大学材料科学与工程学院,成都,610064

【出处】

：

第十一届全国电介质物理、材料与应用学术会议

【发表日期】

：

2005年8期

【关键词】

：

钛酸锶钡薄膜光电子能谱溶胶凝胶法 BST薄膜钙钛矿结构

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