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室温连续工作的GaAs/AlGaAs垂直腔面发射激光器列阵
室温连续工作的GaAs/AlGaAs垂直腔面发射激光器列阵
来源 :高技术通讯 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wyn6098
【摘 要】
:
报导了由选择氧化法研制的GaAs/AlGaAs垂直腔面发射激光器,DBR中的AlAs经选择氧化形成的氧化层作为有源区的横向电流限制层,器件的最低阈值电流为3.8mA,输出功率大于1mW,发射角小于7.8°,高频测量脉冲上升沿
【作 者】
:
林世鸣
康学军
【机 构】
:
中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室
【出 处】
:
高技术通讯
【发表日期】
:
1996年5期
【关键词】
:
垂直腔面发射
激光器
氧化法
砷化镓
ALGAAS
Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers
Oxidation
Mo
【基金项目】
:
863计划资助
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报导了由选择氧化法研制的GaAs/AlGaAs垂直腔面发射激光器,DBR中的AlAs经选择氧化形成的氧化层作为有源区的横向电流限制层,器件的最低阈值电流为3.8mA,输出功率大于1mW,发射角小于7.8°,高频测量脉冲上升沿达100ps,并由此器件制成了2×3二维列阵。
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