【摘 要】
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在扫描电子束曝光机中,半导体型背散射电子检测装置是最重要最常用的一种检测仪器。由中国科学院电工研究所和北京261厂合作研制的该型装置,经过五年多的研制、试验和各种具
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在扫描电子束曝光机中,半导体型背散射电子检测装置是最重要最常用的一种检测仪器。由中国科学院电工研究所和北京261厂合作研制的该型装置,经过五年多的研制、试验和各种具体应用之后,已于1986年10月通过鉴定。
In scanning electron beam lithography machines, semiconductor-type backscattered electron detection device is the most important and most commonly used detection instruments. By the Chinese Academy of Sciences Institute of Electrical Engineering and Beijing 261 Factory developed this type of device, after more than five years of development, testing and various specific applications, in October 1986 passed the appraisal.
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