【摘 要】
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结构分析技术是一种新颖且行之有效的电子元器件可靠性评估方法。通过对电子元器件的内部结构、工艺和材料的剖析,确认集成电路的版图设计能力、制造工艺控制水平及选用材料的性能,为电子元器件的固有可靠性的判断提供了重要依据。介绍了结构分析的一般流程,并将其应用于半导体器件型号为SNJ54HC04W的6通道反相器的结构分析中,最后给出综合评价和有关结构分析的几点建议。
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结构分析技术是一种新颖且行之有效的电子元器件可靠性评估方法。通过对电子元器件的内部结构、工艺和材料的剖析,确认集成电路的版图设计能力、制造工艺控制水平及选用材料的性能,为电子元器件的固有可靠性的判断提供了重要依据。介绍了结构分析的一般流程,并将其应用于半导体器件型号为SNJ54HC04W的6通道反相器的结构分析中,最后给出综合评价和有关结构分析的几点建议。
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