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介绍了采用集总参数模型对MEMS开关进行设计和仿真的方法.在纳米尺度下,卡斯米尔力和范德华力是不可忽略的作用力.讨论了卡斯米尔力、范德华力和静电力共同作用下MEMS的阙值电压及其非线性效果.结果表明:卡斯米尔力、范德华力和静电力共同作用影响了MEMS阙值电压的值.
基于集总参数模型的MEMS开关的研究
【摘 要】
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介绍了采用集总参数模型对MEMS开关进行设计和仿真的方法.在纳米尺度下,卡斯米尔力和范德华力是不可忽略的作用力.讨论了卡斯米尔力、范德华力和静电力共同作用下MEMS的阙值
【机 构】
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南京工业大学电子与信息工程学院,江苏英特神斯科技有限公司
【出 处】
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化工自动化及仪表
【发表日期】
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2012年7期
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