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GaAs基量子级联激光器材料结构设计的进展
GaAs基量子级联激光器材料结构设计的进展
来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zcv_2323
【摘 要】
:
GaAs基量子级联激光器的出现,在器件的设计制作和处理工艺上开辟了有意义的前景.本文概述了近年来GaAs基量子级联激光器在波导核心层、波导以及光学谐振腔方面设计的原理、进
【作 者】
:
刘俊岐
刘峰奇
车晓玲
黄秀颀
雷文
王占国
【机 构】
:
中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室
【出 处】
:
微纳电子技术
【发表日期】
:
2004年8期
【关键词】
:
量子级联激光器
注入区
有源区
波导
谐振腔
quantum cascade lasersinjection regionactive regionwavegu
【基金项目】
:
国家重点基础研究发展计划(973计划),国家高技术研究发展计划(863计划),国家自然科学基金,国家自然科学基金
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GaAs基量子级联激光器的出现,在器件的设计制作和处理工艺上开辟了有意义的前景.本文概述了近年来GaAs基量子级联激光器在波导核心层、波导以及光学谐振腔方面设计的原理、进展,并介绍了一些新颖的结构.
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