【摘 要】
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介绍了以Ｌｉ２Ｂ４Ｏ７为基片，１５０ＭＨｚ声表面波窄带滤波器的设计与制作。在设计中采用了波导耦合谐振器的结构形式，按新研究的光刻腐蚀方法［１］，成功地制作出了１５０ＭＨｚ的窄带滤波器。验证了波导耦合谐振滤波的理
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介绍了以Ｌｉ２Ｂ４Ｏ７为基片，１５０ＭＨｚ声表面波窄带滤波器的设计与制作。在设计中采用了波导耦合谐振器的结构形式，按新研究的光刻腐蚀方法［１］，成功地制作出了１５０ＭＨｚ的窄带滤波器。验证了波导耦合谐振滤波的理论．证实了Ｌｉ２Ｂ４Ｏ７确实是较好的声表面波基片材料。
The design and fabrication of a 150MHz SAW narrowband filter based on Li2B4O7 are introduced. Waveguide coupled resonator structure is adopted in the design. According to the newly researched lithographic etching method [1], a narrowband filter of 150MHz has been successfully fabricated. The theory of waveguide-coupled resonant filtering is verified. Confirmed Li2B4O7 is indeed a good SAW substrate material.
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