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Characterization of magnetron sputtering TiB<sub>2</sub> and Ti-B-N thin films
【出 处】
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中国有色金属学会会刊：英文版
【发表日期】
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2000年5期
【基金项目】
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Project(59971 0 2 1 )supportedbytheNationalNaturalScienceFoundationofChina,Project(97J0 2 8)supportedbytheNatu ralScienceFundo
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