【摘 要】
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在集成电路掩模(Mask)生产过程中,清洗机是关系到掩模制板质量的一个重要设备。因为掩模工艺需要使用大量的化学溶剂,并需配置多个加热控制系统,致使清洗设备成为一个故障率
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在集成电路掩模(Mask)生产过程中,清洗机是关系到掩模制板质量的一个重要设备。因为掩模工艺需要使用大量的化学溶剂,并需配置多个加热控制系统,致使清洗设备成为一个故障率高、易损件损坏多的设备。介绍清洗机加热系统控制原理,其中包括Genius I/O、手持监控器、PID控制、电流监控器、安全电路和加热脉冲。对其控制原理及电路进行了解析,最后通过应用实例给出了故障的排除方法。
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