【摘 要】
：
在65和45nm节点,随着新材料和新结构的出现,对薄膜计量的要求变得越来越复杂,可是计量预算更紧张。仅仅在关键制程中监测厚度和折射率已不足以进行制程控制。我们必须测量或
论文部分内容阅读
在65和45nm节点,随着新材料和新结构的出现,对薄膜计量的要求变得越来越复杂,可是计量预算更紧张。仅仅在关键制程中监测厚度和折射率已不足以进行制程控制。我们必须测量或推测组分和孔隙率等参数,从而了解光学性质的系统性变化。
At the 65- and 45-nm nodes, the requirements for film metrology have become more sophisticated with the advent of new materials and structures, but the metrology budget has been tighter. It is not enough to monitor the thickness and refractive index of the process in process control. We must measure or infer parameters such as composition and porosity to understand the systematic changes in optical properties.
其他文献
2011年3月18日国务院水利普查办召开第一次全国水利普查清查登记工作启动视频会议后,天津市水利普查办按照会议要求,立即组织开展清查登记工作.
合理的城市规划布局，打造生态宜居的现代化都市是城市建设者的职责和义务。然而，随着城镇化的快速推进，城区面积不断向外延伸，受经济利益驱动等原因，一些私搭乱建现象和违法违规建
450mm晶圆刻蚀机开发中大量应用确定性仿真来模拟腔室内部物理、化学环境,并通过仿真结果指导装备结构的详细设计。为控制仿真试验的采样规模以缩短开发周期,本文详细介绍一
通过基于GIS的省级森林植物检疫对象管理信息系统的研制,实现了对森林病虫害检疫档案信息的集中管理与应用,并可以及时实现检疫信息数据的更新。通过检疫对象信息的空间分析、查询及可视化,能够了解疫情在空间和时间上的发生、发展和扩散情况,找出其发展的内在规律,指导病虫害减灾防灾工作的实施,最大程度地减少灾害损失。系统采用多级信息结构,可以在省、地区、县(市)级别上,分析不同行政单元内的分布情况,实现从宏观
介绍了真空技术在污水处理中的几种典型应用:真空结晶法用以分离污水中具有结晶性能的固体溶剂;真空过滤脱水用于初沉池和消化池污泥脱水;真空浮选法通过制造负压条件加速浮
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
我国林业有害生物数据的采集、管理与传输主要为国家、省、县三级责任制,通过近十年的建设,国家级数据汇交中心系统、县级数据传输系统已经相继建成并投入使用,为林业的信息
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
芬兰斯道拉恩索公司日前宣布，已获得美国Virdia公司100%的股份。Virdia公司是全球领先的拥有先进的抽取和分离技术进行纤维生物质转化，以此得到高纯度的特种糖类和木质素。