【摘 要】
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针对目前压阻式加速度计分辨率不高的特点,设计了一种基于约瑟夫逊效应与硅压阻效应相结合的检测高g值的微机械加速度计,其具备信噪比低和分辨率高等优点.该加速度计采用四悬
【机 构】
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山西职业技术学院自动化系,中国人民解放军驻247厂军代室
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针对目前压阻式加速度计分辨率不高的特点,设计了一种基于约瑟夫逊效应与硅压阻效应相结合的检测高g值的微机械加速度计,其具备信噪比低和分辨率高等优点.该加速度计采用四悬臂梁质量块结构,在悬臂梁根部附近布置压敏电阻,可将加速度输入转化成硅晶格的应变,从而引起压阻器件的阻值变化,并使测量电路的惠斯通电桥两端的电压发生变化,将该电压通过约瑟夫逊效应原理测量出来,则可反推出悬臂梁上所施加的力.通过Ansys软件对加速度计的静态及动态性能进行仿真,得出该加速度计的量程为200 000g,带宽为220kHz,响应时间为1
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