论文部分内容阅读
利用反射式椭偏仪测量SiO2光学薄膜材料的光学常数（折射率n和消光系数k）和厚度，并且对测量结果进行建模和线性拟合，同时获得多个参数Is、Ie、和△的ψ描述。实验结果表明了光谱范围从300nm-800nm的Is、Ie、△（表示电场反射分量的位相差）和ψ（表示电场反射分量的振幅比）的测量结果与拟合结果的符合情况非常好，而折射率在光谱范围和之间出现了严重偏差。