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由中科院微电子所微电子设备技术研究室作为合作单位之一，承担完成的“100纳米高密度等离子刻蚀机研发与产业化”项目获得了2008年北京市科技进步一等奖。
中国科学院微电子所合作项目荣获北京市科学技术奖
【摘 要】
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由中科院微电子所微电子设备技术研究室作为合作单位之一，承担完成的“100纳米高密度等离子刻蚀机研发与产业化”项目获得了2008年北京市科技进步一等奖。
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2009年6期
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