【摘 要】
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对升高模式扫描电容显微镜 (LM SCM)进行了理论分析 ,发现在小振幅近似下针尖的振幅直接正比于样品表面电容的梯度分布。利用升高模式扫描电容显微镜 (LM SCM)研究了金基底上
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目 (6 9890 2 2 1,6 990 2 0 0 2 )
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对升高模式扫描电容显微镜 (LM SCM)进行了理论分析 ,发现在小振幅近似下针尖的振幅直接正比于样品表面电容的梯度分布。利用升高模式扫描电容显微镜 (LM SCM)研究了金基底上铝纳米粒子的形貌和表面电容 ,分析了电容像的衬度与针尖的提升高度之间关系 ,并在实验中得到了验证。
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