基于相移电子莫尔条纹的深度非球面检测(英文)

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通过相移技术检测深度非球面波前时 ,CCD相机和计算机分辨率受到Nyguist频率的限制。基于相互平行相移莫尔条纹干涉技术 ,我们提出一种新颖有效的检测技术。相互平行的相移电子莫尔条纹是由计算机产生三幅光栅作为参考波前 ,分别和输入被检干涉图相叠加 ,并通过低通滤波器滤波滤掉高频而得到的。最后 ,由三步相移算法 ,我们得出非球面的面形分布。 When phase-shifting techniques are used to detect deep aspheric wavefronts, the CCD camera and computer resolutions are limited by the Nyguist frequency. Based on parallel moiré fringe interferometry, we propose a novel and effective detection technique. The phase-shifted electron moles fringes that are parallel to each other are generated by the computer generating three rasters as reference wave fronts, superimposed respectively on the input interferograms and filtered through a low-pass filter to filter out high frequencies. Finally, by the three-step phase shift algorithm, we obtain the aspheric surface profile.
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