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掠入射平场光栅谱仪是最近几年发展起来的新型极紫外(XUV)光谱仪器,其光谱焦面是一平面。本文介绍了我们最近研制成的消象散平场谱仪的消象散光学成像原理、结构特点、工艺、材料的选择及部分的实验结果。
消象散掠入射平场光栅谱仪
【摘 要】
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掠入射平场光栅谱仪是最近几年发展起来的新型极紫外(XUV)光谱仪器,其光谱焦面是一平面。本文介绍了我们最近研制成的消象散平场谱仪的消象散光学成像原理、结构特点、工艺、
【机 构】
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中科院上海光学精密机械研究所; 中科院上海光学精密机械研究所;
【出 处】
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光学仪器
【发表日期】
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1991年06期
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