【摘 要】
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宽光谱低反射率减反射膜对提高GaAs基多结太阳电池的光电转换效率至关重要。设计和制备了宽光谱TiO2/Al2O3/SiO2三层减反射膜。理论研究发现,当TiO2/Al2O3/SiO2三层减反射膜
【机 构】
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华北电力大学可再生能源学院,云南师范大学太阳能研究所,石家庄铁道大学数理系,北京科技大学材料科学与工程学院,
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宽光谱低反射率减反射膜对提高GaAs基多结太阳电池的光电转换效率至关重要。设计和制备了宽光谱TiO2/Al2O3/SiO2三层减反射膜。理论研究发现,当TiO2/Al2O3/SiO2三层减反射膜最佳物理厚度为41.74 nm/78.74 nm/94.98 nm时,在3501 800 nm宽光谱范围内获得最小有效反射率为2.85%。依据理论设计,采用真空电子束蒸发法制备了相应厚度的TiO2/Al2O3/SiO2三层减反射膜,分光光度计测试结果表明,在3501 800 nm宽光谱范围内,有效反射率为7.21%,且在485 nm和850 nm波长附近获得反射率极小值4.39%和2.16%。
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