【摘 要】
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碳纳米管轴向优异的导热性质和低成本的批量生产被认为有望满足高功率器件散热的要求,同时成为热界面散热材料的最佳选择.综述了 PECVD的种类和基本原理.综述了基于金属催化剂PECVD法制备的碳纳米管可通过适当工艺参数的调整在较低的温度下得到垂直、定向排列的碳纳米管阵列.介绍了碳纳米管阵列在热界面材料上的应用.最后,指出影响碳纳米管导热的因素以及提高导热性能的方法.
【机 构】
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佳木斯大学理学院,黑龙江佳木斯154007;佳木斯大学材料科学与工程学院,黑龙江佳木斯154007;佳木斯大学理学院,黑龙江佳木斯154007;佳木斯大学材料科学与工程学院,黑龙江佳木斯154007
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碳纳米管轴向优异的导热性质和低成本的批量生产被认为有望满足高功率器件散热的要求,同时成为热界面散热材料的最佳选择.综述了 PECVD的种类和基本原理.综述了基于金属催化剂PECVD法制备的碳纳米管可通过适当工艺参数的调整在较低的温度下得到垂直、定向排列的碳纳米管阵列.介绍了碳纳米管阵列在热界面材料上的应用.最后,指出影响碳纳米管导热的因素以及提高导热性能的方法.
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