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本文介绍了一种改进型的微波等离子体增强辉光放电光源。对它的结构，操作以及工作参数和溅射等进行了详细的讨论。
一种新型微波等离子体增强辉光放电光源基本特性的研究
【摘 要】
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本文介绍了一种改进型的微波等离子体增强辉光放电光源。对它的结构，操作以及工作参数和溅射等进行了详细的讨论。
【机 构】
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吉林大学化学系,吉林大学科教仪器厂
【出 处】
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光谱学与光谱分析
【发表日期】
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1998年2期
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