【摘 要】
：
利用半导体工艺及器件仿真工具TCAD软件的工艺仿真模块模拟单晶硅电池制造过程中的扩散和热氧化过程,得到与测试结果相一致的掺杂分布曲线。在工艺仿真基础上,利用TCAD软件的
【机 构】
：
中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室;
【基金项目】
：
国家自然科学基金(60776046;60976046;60837001;61021003);国家重大科学研究计划(2010CB933800)
论文部分内容阅读
利用半导体工艺及器件仿真工具TCAD软件的工艺仿真模块模拟单晶硅电池制造过程中的扩散和热氧化过程,得到与测试结果相一致的掺杂分布曲线。在工艺仿真基础上,利用TCAD软件的器件仿真模块计算电池的转换效率和内量子效率,发现通过降低扩散温度以及在扩散之后加入热氧化工艺可减小发射极表面附近的掺杂,从而减小发射极复合以及表面复合,且热氧化还可减少发射极方阻,如果电池接触电阻增加较小的话,上述工艺可提高转换效率。通过测试实际电池的量子效率曲线对仿真进行验证,说明了器件仿真的准确性。
其他文献
日语中的形式名词「トコロ」可以在多种状况下使用,并发挥多种意义和功能,在日语教育方面一直被看作是教学和掌握的一个难点。笔者通过采用问卷调查的方式从多角度对形式名词
中国的一些现代艺术家正在忙于使自己的艺术快速＂现代化＂、＂国际化＂追随西方文化节拍邯郸学步时却忽视了西方现代、后现代主义的本质,更忽视了艺术要创造和谐精神家园的伟大使命
只有教育性与艺术性高度统一的教学网站,才能做到教学内容的传达与视觉信息的形态符合学生的思维习惯与审美习惯。教学网站的设计要符合一定的美学特征,文章从视觉元素入手,
文章对安徽省高职生学习动机现状的调查进行描述统计和多变量多因素方差分析,并找出各因素交互作用对学习动机的影响及存在差异的可能归因,为高职院校采取措施激发高职生的学
针对战略审计这一在理论上已分析的几近完美的方式在实际中极少采用的现状．文章从经济学的角度对其供求双方进行分析，对如何利用市场机制来实现战略审计的广泛使用提出若干看法