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采用大型真空镀膜设备在玻璃基底上蒸镀二氧化钛（TiO2）薄膜，并对TiO2薄膜进行了SEM、AFM、XRD、紫外可见光吸收光谱、亲水性的测试及分析，探讨了退火温度对薄膜性能的影响。结果表明制备的TiO2薄膜具有良好的均匀性。在室温条件下，TiO2薄膜具有无定型的结构；在300～500℃的条件下，TiO2薄膜退火2h后以锐钛矿晶型为主，600℃退火的TiO2薄膜明显向金红石型转变。随退火温度的升高，薄膜对紫外光和可见光的吸收有明显提高，并出现了明显的红移现象。另外，亲水性也随退火温度的升高而变强，500和6