稀土铈对化学复合镀Ni—P—Si3N4工艺及性能的影响

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研究稀土铈对Ni-P-Si3N4化学复合镀工艺操作性能及镀层性能的影响,发现在Ni-P-Si3N4化学复合镀镀液中加入少量稀土铈能有效地提高镀速及镀液稳定性,并可以提高镀层中SiN的共沉积量,增加镀层硬度,但镀层耐蚀性有所下降,镀层结构分析发现镀层由非晶态向微晶态转变。
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