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针对行星齿轮系的精密传动特性要求,从几何学角度出发,综合考虑各构件加工和安装偏心误差、齿距偏差及齿厚偏差等随机误差成分,建立了多级传动误差耦合模型。从更符合实际规律的误差统计学角度根据蒙特卡罗法原理构造了模型中随机变量的概率过程。最后利用该方法对实例进行了模拟计算及统计分析,通过频谱分析找出了影响最大的误差因素。结果表明随机误差值的大小与系统传动误差成正比关系,误差初始相位的随机性主要倾向于减小系统传动误差。