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半导体工业的集中化程度在不断提高,半导体结构越来越精细,因此其生产过程和其测量及检测过程需要更高的纳米级定位精度.导轨方向误差和热膨胀导致的测量误差现在仍无法通过计算进行补偿,但可被新型测量设备确定并将其大幅减小."要改变,必须先测量.
测量机精度——纳米级新技术
【摘 要】
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半导体工业的集中化程度在不断提高,半导体结构越来越精细,因此其生产过程和其测量及检测过程需要更高的纳米级定位精度.导轨方向误差和热膨胀导致的测量误差现在仍无法通过
【机 构】
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[约翰内斯·海德汉博士(中国)有限公司,北京,101312
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2008年7期
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