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电子工业已经成为世界上规模最大的工业。电子器件是电子工业的基础,该领域的发展十分迅速,新器件、新效应、新技术日新月异。半导体器件的特征尺寸已进入微米量级。近年来MEMS（微电子机械系统）器件的出现和发展引起各工业大国的关注。文章介绍了MEMS的主要特点及其在通信领域的应用。
MEMS器件及在通信的应用
【摘 要】
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电子工业已经成为世界上规模最大的工业。电子器件是电子工业的基础,该领域的发展十分迅速,新器件、新效应、新技术日新月异。半导体器件的特征尺寸已进入微米量级。近年来ME
【机 构】
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天津铁道职业技术学院
【出 处】
：
山西科技
【发表日期】
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2007年5期
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