【摘 要】
：
阐述在14nm FinFET及以下工艺，由于器件需要，较多制程刻蚀后关键尺寸为22nm。DUV光刻工艺关键尺寸的极限38nm左右。探讨在形成最终的关键尺寸过程中，刻蚀工艺起到至关重要的作用。通过刻蚀工艺的细致研究，不仅可以根据需求得到不同的刻蚀偏差，同时能够对关键尺寸均匀性（CD Uniformity）进行优化，从而达到芯片制造的需求。
【基金项目】
：
上海市经济和信息化委员会软件和集成电路产业发展专项基金（1500204）；
论文部分内容阅读
阐述在14nm FinFET及以下工艺，由于器件需要，较多制程刻蚀后关键尺寸为22nm。DUV光刻工艺关键尺寸的极限38nm左右。探讨在形成最终的关键尺寸过程中，刻蚀工艺起到至关重要的作用。通过刻蚀工艺的细致研究，不仅可以根据需求得到不同的刻蚀偏差，同时能够对关键尺寸均匀性（CD Uniformity）进行优化，从而达到芯片制造的需求。
其他文献
本文以语文课堂中提高小学中年级学困生注意力方法研究为主要内容进行阐述,结合当下学困生注意力不集中表现和提升语文学困生注意力的最佳方式为主要依据,从借助情感吸引学生注意力、使用心理暗示法提升注意力、采用限时法提升学生注意力、提升学困生自我控制力这几方面进行深入探讨和分析,其目的在于提升小学语文中年级学困生注意力,旨在为相关研究提供参考资料。
文章分析了新时代大学生的特点，一是思想多元易变，二是学习动力不足，三是缺少生涯规划，四是生活观念改变，五是劳动意识匮乏，六是缺乏创新意识。根据新时代大学生的特点，文章探索了高校辅导员将中国共产党人精神谱系的伟大精神融入新时代大学生思想政治教育的工作方法，分为五个方面：一是将抗美援朝精神融入思想教育中，二是将科学家精神融入学习教育中，三是将南泥湾精神融入生活教育中，四是将劳动精神融入劳动教育中，五是
随着社会节奏不断加快,各行各业对于人才的心理素质要求逐渐提高,在高校的思想政治教学中,如何加强对学生的心理健康教育成为人们热议的话题。本文围绕相关问题展开论述,在明确高校心理健康教育的重要性基础上,阐明了作者的一些建议。
在分析M7140平面磨床、M2120内圆磨床特性及其对数控系统的要求基础上，提出了采用PLC加伺服驱动做控制，触摸屏做人机接口的方式实现机床数控加工。通过PLC、触摸屏和伺服系统的选型及相关程序的设计，实现高精度进给，控制精度达1μm。控制系统接入电子手轮实现微进给功能，引入光栅尺作为伺服闭环控制，采用伺服控软件对伺服进行优化。手动、手轮、自动3种工作方式切换，机床坐标清零、单双向进给功能及其他不
目的:观察并探讨七芍方对自发性高血压大鼠尾静脉血压、心脏及肾脏血管形态学的影响,初步讨论其具体作用机制。方法:选取40只13周龄SPF级自发性高血压大鼠及10只相同周龄SPF级Wistar大鼠,按照完全随机对照原则,40只13周龄的自发性高血压大鼠分为模型组、中药干预组、对照组（本研究采用缬沙坦作为阳性对照药物）,其数量分别为10只、20只、10只,10只相同周龄Wistar大鼠作为空白对照组,在
基于筒仓控制系统在某钢铁公司焦化厂新建筒仓工程中的应用，介绍了筒仓控制系统整体框架、重难点、创新点、完成效果，且对应用前景进行了探讨。控制系统满足了炼焦厂煤处理配套系统的自动化生产要求，经济环保，提升了备煤生产智能化运行水平，使企业取得良好的经济效益、环保效益和社会效益。
探讨在新冠肺炎疫情等不确定性负面事件冲击下，休闲农场中城乡主客共享互动关系视角下休闲农场反脆弱性模式。首先基于扎根理论研究，从多元性、稳定性、敏捷性和增长性四大维度刻画了休闲农场反脆弱性概念；其次从城乡人际互动、资源共享、资金支付合同、活动参与、产品共享、知识共享等角度解构了城乡主客共享互动关系的异质性属性；最后采用模糊集定性比较分析（fsQCA）来探索有效的反脆弱性模式。研究发现休闲农场反脆弱性
自动化生产线实训设备是以自动化生产线实际的生产过程为参考，整合了当前机电设备所用到的知识和技术点，解决了当前企业实际所用自动化生产线复杂学习难度大和校内实训设备功能单一综合性不强的问题，便于学生掌握自动化生产线相关技术的综合应用，提升职业技能水平。该实训设备通过两台S7-1200 PLC构成以态网通信控制网络，实现了系统工件的供料、输送检测、筛选推料、机械手翻转、分拣的生产过程和控制功能，综合应用
青少年营地教育课程评价是青少年营地教育课程研究的重要领域，核心素养以培养青少年适应终身发展和社会发展为旨趣，契合了青少年营地教育课程评价的发展理路。本文旨在把握核心素养视域下青少年营地教育课程评价的意蕴和特征，审视实然样态下青少年营地教育课程评价困境，使核心素养在青少年营地教育课程评价的实践中浸润和发酵，从而实现核心素养的价值引领，形成整合优化的新型评价内容和方式，建构多元主体参与的课程评价体系。