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为实现人工晶体生长设备中低速提拉种晶杆的控制要求,应用PLC控制的交流伺服电机作为种晶杆的驱动,通过PLC与交流伺服驱动器的通信技术,可以准确地完成修改驱动器电子齿轮比及其有关的参数,达到对驱动脉冲进一步细分,在提高精度的同时满足低速控制的目的。实验表明,此方法对类似的控制也是行之有效的。
基于PLC控制的交流伺服电机在晶体生长设备中的应用
【摘 要】
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为实现人工晶体生长设备中低速提拉种晶杆的控制要求,应用PLC控制的交流伺服电机作为种晶杆的驱动,通过PLC与交流伺服驱动器的通信技术,可以准确地完成修改驱动器电子齿轮比
【机 构】
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常州工学院电子信息与电气工程学院
【出 处】
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常州工学院学报
【发表日期】
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2010年2期
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