【摘 要】
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采用激光盲孔作为层间微导通孔是HDI关键技术之一，而HDI刚挠结合板其介质的多样性也造成了激光盲孔可靠性的复杂化。文章以刚挠结合板的挠性介质（PI）为研究对象，分别从工艺流程、
【机 构】
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采用激光盲孔作为层间微导通孔是HDI关键技术之一，而HDI刚挠结合板其介质的多样性也造成了激光盲孔可靠性的复杂化。文章以刚挠结合板的挠性介质（PI）为研究对象，分别从工艺流程、激光盲孔的位置和孔铜的结构进行对比，结合扫描电镜和微切片技术对实验现象进行分析，得到影响刚挠结合板激光盲孔可靠性的关键因素。
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