【摘 要】
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为合理设计接触式台阶测量仪,建立了它的简化数学模型,经理论计算,结果与理论值有较大误差.通过有限元分析软件、采用8节点6面体单元计算模型对机构进行数字仿真和分析.触针
【机 构】
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清华大学,精密仪器与机械学系,北京,100084
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为合理设计接触式台阶测量仪,建立了它的简化数学模型,经理论计算,结果与理论值有较大误差.通过有限元分析软件、采用8节点6面体单元计算模型对机构进行数字仿真和分析.触针允许最大测量力为8.267N, 测量力变化率为33.8N/m,片簧回转中心偏移量约为1μm,可满足高精度接触式台阶测量仪的设计要求.
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