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IC厂房洁净系统方案介绍及比较
IC厂房洁净系统方案介绍及比较
来源 :洁净与空调技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jj978163com
【摘 要】
:
微电子工业迅猛发展,本文以一个典型的IC厂房为实例,介绍几种洁净设计方式,并从投资、施工、运行等方面进行分析比较.
【作 者】
:
郝佳
【机 构】
:
北京307信箱公用设备所1000840
【出 处】
:
洁净与空调技术
【发表日期】
:
2004年3期
【关键词】
:
厂房
洁净
施工
系统方案
微电子工业
运行
分析比较
IC
设计方式
典型
IC Fab Cleanliness Temperature & Humi
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微电子工业迅猛发展,本文以一个典型的IC厂房为实例,介绍几种洁净设计方式,并从投资、施工、运行等方面进行分析比较.
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