Effects of nitrogen content on structure and electrical properties of nitrogen-doped fluorinated di

来源 :中国有色金属学会会刊：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：spiritword

【摘要】

：

做氮的氟化的像钻石的碳(FN-DLC ) 电影被收音机频率血浆在单个水晶硅底层上准备在有象来源气体的 CF4， CH4 和氮的不同扔的条件下面的提高的化学蒸汽免职(RF-PECVD ) 。结构

【作者】

：

肖剑荣李新海王志兴

【机构】

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SchoolofMetallurgicalScienceandEngineering,DepartmentofPhysicsandMaths,GuangxiKeyLaboratoryofInforma

【出处】

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中国有色金属学会会刊：英文版

【发表日期】

：

2009年6期

【关键词】

：

氟化类金刚石薄膜氮掺杂射频等离子体增强化学气相沉积电学特性结构氮素原子力显微镜红外吸收光谱 fluorinated diamond-like ca

【基金项目】

：

Project（70121） supported by the Postdoctoral Science Foundation of Central South University, China, Project（200807MS044） supportedby Scientific Research Fund of Education Department of Guangxi Autonom

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做氮的氟化的像钻石的碳(FN-DLC ) 电影被收音机频率血浆在单个水晶硅底层上准备在有象来源气体的 CF4， CH4 和氮的不同扔的条件下面的提高的化学蒸汽免职(RF-PECVD ) 。结构和这些电影的电的性质上的氮内容的影响被学习。这些电影以表面形态学，微观结构，化学作文和电的性质被调查。原子力量显微镜学(AFM ) 结果表明这些电影的表面形态学由于做氮变得光滑。红外线的吸收 spectrometry (FTIR ) 结果显示出的 Fourier 变换 C=N 和 CN 契约的那 amouts 与增加

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