【摘 要】
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随着超大规模集成电路的不断发展，薄栅氧化层的质量对器件和电路的可靠性的作用越来越重要。经时绝缘击穿（TDDB）是评价薄栅氧化层质量的重要方法。本次实验主要是通过斜坡电压实
【机 构】
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华南理工大学物理科学与技术学院,信息产业部电子第五研究
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随着超大规模集成电路的不断发展，薄栅氧化层的质量对器件和电路的可靠性的作用越来越重要。经时绝缘击穿（TDDB）是评价薄栅氧化层质量的重要方法。本次实验主要是通过斜坡电压实验来研究薄栅氧化层的TDDB，测出斜坡电压时氧化层的击穿电压、击穿电荷以及击穿时间，研究了斜坡电压情况下，栅氧化层击穿电荷、击穿电压和外加电压斜率等击穿参数间的依赖关系。
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